據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體前道工藝國產替代題材公司有：

華海清科688120：9月26日消息，華海清科主力資金凈流入1.5億元，超大單資金凈流入9047.45萬元，散戶資金凈流出8781.35萬元。

華海清科從近三年ROE來看，近三年ROE均值為15.79%，過去三年ROE最低為2023年的14.11%，最高為2024年的17.04%。

中微公司688012：9月26日消息，中微公司9月26日主力資金凈流入2.99億元，超大單資金凈流入1.92億元，大單資金凈流入1.07億元，散戶資金凈流出1569.72萬元。

從公司近五年凈利潤來看，近五年凈利潤均值為12.15億元，過去五年凈利潤最低為2020年的4.92億元，最高為2023年的17.86億元。

拓荊科技688072：9月26日消息，資金凈流入4721.36萬元，超大單資金凈流入4889.24萬元，成交金額21.91億元。

從公司近五年總資產收益率來看，近五年總資產收益率均值為4.56%，過去五年總資產收益率最低為2020年的-0.81%，最高為2023年的7.68%。

數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。