據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體光刻概念股票有：

1、華懋科技：9月29日該股主力凈入-3404.76萬元，其中資金流入方面：超大單凈入5437.62萬元，大單凈入1.36億元，中單凈入1.59億元，散戶凈入1.64億元；資金流出方面：超大單凈出9557.42萬元，大單凈出1.29億元，中單凈出1.61億元，散戶凈出1.28億元。

回顧近3個交易日，華懋科技有2天上漲，期間整體上漲10.81%，最高價為50元，最低價為56.06元，總市值上漲了19.94億元，上漲了10.81%。

從華懋科技近三年總資產收益率來看，近三年總資產收益率均值為5.32%，過去三年總資產收益率最低為2023年的5.15%，最高為2022年的5.67%。

2、萬業企業：9月30日消息，萬業企業主力資金凈流入1.06億元，超大單資金凈流入1.94億元，散戶資金凈流出4699.36萬元。

在近3個交易日中，萬業企業有2天上漲，期間整體上漲16.59%，最高價為22元，最低價為18.33元。和3個交易日前相比，萬業企業的市值上漲了33.97億元。

從公司近五年ROE來看，近五年ROE均值為3.73%，過去五年ROE最低為2024年的1.32%，最高為2021年的5.34%。

3、新萊應材：資金流向數據方面，9月30日主力資金凈流流入1.22億元，超大單資金凈流入2.15億元，大單資金凈流出9315.69萬元，散戶資金凈流入2906.07萬元。

新萊應材在近3個交易日中有2天上漲，期間整體上漲10.53%，最高價為47.68元，最低價為40.84元。2025年股價上漲40.67%。

從近五年ROTA來看，公司近五年ROTA均值為6.21%，過去五年ROTA最低為2020年的3.5%，最高為2022年的10.42%。

數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。