據南方財富網概念查詢工具數據顯示，集成電路裝備公司有：

1、萬業企業：公司2024年實現總營收5.81億，同比增長-39.72%。

回顧近5個交易日，萬業企業有4天上漲。期間整體上漲14.91%，最高價為22元，最低價為17.45元，總成交量2.8億手。

2、至純科技：至純科技公司2024年的凈利潤2359.75萬元，同比增長-93.75%。

在近5個交易日中，至純科技有2天上漲，期間整體上漲0.39%。和5個交易日前相比，至純科技的市值上漲了4603.74萬元，上漲了0.39%。

3、盛美上海：2024年凈利潤11.53億，同比增長26.65%。

回顧近5個交易日，盛美上海有3天上漲。期間整體上漲6.24%，最高價為219.8元，最低價為164.85元，總成交量4447.12萬手。

數據僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔，股市有風險，投資需謹慎。