截止2023年10月31日，個股表現方面，國產光刻機概念股當日領跌股為旭光電子(600353)，該股當日報收7.21，上漲-4.25%，成交量15.9萬。藍英裝備(300293)以下跌-4.09%緊隨其后，該股當日成交量41.25萬。此外，同飛股份(300990)、冠石科技(605588)、彤程新材(603650)均進入當日國產光刻機概念股熊股之列。

　　市值來看，截止2023年10月31日，國產光刻機概念股中同飛股份、旭光電子、藍英裝備等4家市值位于不足100億之列；彤程新材市值位于100億到500億之列。

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